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        NAURA 100 GO | 北方華創第100臺氮化鋁PVD設備順利交付
        發布時間:2018-04-24
          2018年4月23日,北方華創微電子第100臺AlN PVD設備順利出貨,發運客戶生產線。交付儀式在亦莊經濟技術開發區生產基地隆重舉行,耿錦啟副董事長、紀安寬副總裁、丁培軍副總裁與AlN PVD設備項目組及生產團隊共同見證了這一激動人心的瞬間。





          NAURA AlN PVD設備,是繼ELEDE®?系列刻蝕機、EPEE??系列PECVD設備之后,北方華創在LED領域第三個突破百臺大關的單系列產品,它不僅是中國自主知識產權打造的高端裝備、并與國際同行同時發布的創新見證,更彰顯了LED高端裝備制造的中國實力。如今,100臺的出貨交付,是其市場認證有效的名片,是其工藝性能更有競爭力的佐證,更預示著其未來市場更多的機會,更多的100臺。






          NAURA iTops A230系列AlN PVD產品成功應用于GaN基LED制程的薄膜緩沖層沉積設備,其可提高緩沖層與GaN外延層的晶格匹配度,提高LED產品的輸出效率;拓寬MOCVD設備的工藝窗口,使產品的ESD測試通過率大幅提高;減低MOCVD的外延生長時間,提高產能,使整線的生產成本降低。自發布以來,NAURA AlN產品先聲奪人,憑借其優越的工藝性能、技術穩定性和具有競爭力的CoO,在LED市場收獲較高占有率和客戶認可度,成為產業當之無愧的明星產品。




          而今,中國半導體產業崛起正當時,作為目前國內半導體高端工藝裝備的領先企業,北方華創將義不容辭承擔起時代賦予自己的使命,秉承“以客戶需求為導向的持續創新”這一理念,積極探尋各種新技術的應用,并持續推動產業化、市場化、國際化,以更優質的產品服務全球客戶,助力國之重器騰飛,攜產業同仁共繪新時代“智造強國”的夢想藍圖。


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